1.如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。

　　2.儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測(cè)。

　　3.及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測(cè)過程中干擾泄漏檢測(cè)。

　　4.檢漏儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）

　　5.嚴(yán)禁在檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦氣檢漏設(shè)備是一種高精度儀器，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。

　　6.使用時(shí)，請(qǐng)注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí)，儀器在操作過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測(cè)器移動(dòng)，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦氣檢漏設(shè)備造成不良影響。